想咨詢一下，以目前的鍍膜工藝水平，蒸鍍和濺射方法鍍制介質(zhì)膜，膜厚精度分別能到多少? 膜系總厚在100nm左右。 qp~gP  

求教，有人嗎

你要的精度指的是光學(xué)膜厚精度還是物理膜厚精度？ {`"#yl6"  
物理膜厚精度由水晶片的精度決定，光學(xué)膜厚精度由光控的精度決定。

晶控能應(yīng)付常規(guī) 5%左右精度要求的膜系， 工藝好點，  2%~3%的也能應(yīng)付。 r)T[(D'Tm-  
再提高，0.5%準(zhǔn)確度比較難了。 yTBS=+X  
鍍膜更重要的是重復(fù)性。

ouyuu:你要的精度指的是光學(xué)膜厚精度還是物理膜厚精度？ ;h/pnmhP  
物理膜厚精度由水晶片的精度決定，光學(xué)膜厚精度由光控的精度決定。 (2020-03-20 16:40)  =hH.zrI6e  

0~gO'*2P  
謝謝！物理膜厚精度，

morningtech:晶控能應(yīng)付常規(guī) 5%左右精度要求的膜系， 工藝好點，  2%~3%的也能應(yīng)付。 E8}+k o  
再提高，0.5%準(zhǔn)確度比較難了。 .w? .ib(  
鍍膜更重要的是重復(fù)性。 (2020-03-20 19:47)  u=+q$Q]  

/\d$/~BFi  
明白了，謝謝！

alien21:謝謝！物理膜厚精度， (2020-03-21 09:56)  p QE)p  

 NY  
物理膜厚由水晶控制，一般是5%左右。