想咨詢一下，以目前的鍍膜工藝水平，蒸鍍和濺射方法鍍制介質(zhì)膜，膜厚精度分別能到多少? 膜系總厚在100nm左右。 &ze'V , :  

學(xué)習(xí)了解

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alien21:謝謝！物理膜厚精度， (2020-03-21 09:56)  eA#J7=eC  

EQz`o+  
物理膜厚由水晶控制，一般是5%左右。 e [3sWv  
水晶片的震蕩頻率會受溫度影響，鍍膜時候溫度上升會干擾到水晶的精度。 hU+sg~E  
所以有些高精度的鍍膜機會用水冷來解決溫升的問題。 #ra:^9;Es:  
但是水晶片溫度低了和膜的結(jié)合力受影響，水晶片上沉積多了以后膜就會脫落。 I6'U[)%  
水晶片的使用壽命會受影響

morningtech:晶控能應(yīng)付常規(guī) 5%左右精度要求的膜系， 工藝好點，  2%~3%的也能應(yīng)付。 KaZ*HPe(  
再提高，0.5%準(zhǔn)確度比較難了。 2N9 BI-a  
鍍膜更重要的是重復(fù)性。 (2020-03-20 19:47)  LwZBM
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~ 61O  
明白了，謝謝！

ouyuu:你要的精度指的是光學(xué)膜厚精度還是物理膜厚精度？ i DO`N!  
物理膜厚精度由水晶片的精度決定，光學(xué)膜厚精度由光控的精度決定。 (2020-03-20 16:40)  X's-i!  

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謝謝！物理膜厚精度，

晶控能應(yīng)付常規(guī) 5%左右精度要求的膜系， 工藝好點，  2%~3%的也能應(yīng)付。 o^wj_#ai$  
再提高，0.5%準(zhǔn)確度比較難了。 1!/cd;{B  
鍍膜更重要的是重復(fù)性。

你要的精度指的是光學(xué)膜厚精度還是物理膜厚精度？ -q[T0^eS  
物理膜厚精度由水晶片的精度決定，光學(xué)膜厚精度由光控的精度決定。

求教，有人嗎