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    [求助]目前工藝介質(zhì)膜厚精度能到多少? [復(fù)制鏈接]

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    離線alien21
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-03-20
    關(guān)鍵詞: 鍍膜
    想咨詢一下,以目前的鍍膜工藝水平,蒸鍍和濺射方法鍍制介質(zhì)膜,膜厚精度分別能到多少? 膜系總厚在100nm左右。 txi m|)  
     
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    離線alien21
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2020-03-20
    求教,有人嗎
    離線ouyuu
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2020-03-20
    你要的精度指的是光學(xué)膜厚精度還是物理膜厚精度? Lg'z%pi  
    物理膜厚精度由水晶片的精度決定,光學(xué)膜厚精度由光控的精度決定。
    離線morningtech
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2020-03-20
    晶控能應(yīng)付常規(guī) 5%左右精度要求的膜系, 工藝好點(diǎn),  2%~3%的也能應(yīng)付。 }APf^Ry  
    再提高,0.5%準(zhǔn)確度比較難了。 (Y-7B  
    鍍膜更重要的是重復(fù)性。
    離線alien21
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2020-03-21
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:你要的精度指的是光學(xué)膜厚精度還是物理膜厚精度? +,f|Y6L< 绥棱县| 清水县| 富裕县| 竹溪县| 南乐县| 宁都县| 响水县| 胶南市| 定西市| 黄大仙区| 保山市| 麻栗坡县| 红桥区| 双辽市| 老河口市| 岳普湖县| 互助| 巴林右旗| 洛隆县| 兴安盟| 武强县| 民乐县| 房产| 霸州市| 如皋市| 潜山县| 盐池县| 建宁县| 恭城| 清徐县| 沅陵县| 永寿县| 三明市| 沽源县| 攀枝花市| 洛扎县| 井冈山市| 乌恰县| 大名县| 琼结县| 聂拉木县|