想咨詢一下，以目前的鍍膜工藝水平，蒸鍍和濺射方法鍍制介質(zhì)膜，膜厚精度分別能到多少? 膜系總厚在100nm左右。 txi m|)  

求教，有人嗎

你要的精度指的是光學(xué)膜厚精度還是物理膜厚精度？ Lg'z%pi
 
物理膜厚精度由水晶片的精度決定，光學(xué)膜厚精度由光控的精度決定。

晶控能應(yīng)付常規(guī) 5%左右精度要求的膜系， 工藝好點(diǎn)，  2%~3%的也能應(yīng)付。 }APf^Ry  
再提高，0.5%準(zhǔn)確度比較難了。 (Y-
7B  
鍍膜更重要的是重復(fù)性。

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