SYNOPSYS中
光柵表面輸入格式：
hd%F nykq SN GRATING {X/Y} L/MM ORDER CWAV HIN VNUM K_|k3^xx" 其中，X-衍射發(fā)生在X-Z平面；Y-衍射發(fā)生在Y－Z平面。Ｌ／ＭＭ－給出了光柵刻線數(shù)；ORDER-衍射級次；CWAV-波長；HIN-基底
折射率；
K7_UP&`=J VNUM-相應的阿貝數(shù)；
UNu#(nP *5C7d*' 例子:
WUn]F~Lt RLE
AUG#_HE]k ID GRATING_REAL FLAT
y4?0j : WAVL .6000000 .5000000 .4000000
~ D j8 z+^ APS 1
^1I19q POLARIZATION LINEAR Y
?Jm^< UNITS MM
tTl%oN8Qw OBB 0.000000 10.00000 1.00000 0.00000 0.00000 0.00000 1.00000
]n n98y+ 0 AIR
&AeX 1 GRA Y 500.0000 -1 0.500000 1.500000 50.000000
t%0VJB,Q2 2 COATING PERF
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