小弟剛?cè)腴T鍍膜行業(yè)，請(qǐng)教下如何計(jì)算鍍膜材料的tooling，比如說校準(zhǔn)sio材料，在鍺基片上鍍膜，鍍了350nm，膜系軟件在1800nm和3400nm出現(xiàn)兩個(gè)峰，到底選哪個(gè)，怎么計(jì)算啊。 6=C<>c%+  

為修正產(chǎn)品與監(jiān)控片厚度差異而設(shè)定的一個(gè)參數(shù)，用光控時(shí)老師把它叫作比例系數(shù)， d'> x(Yi  
晶控上寫作Tooling Factor，有人簡稱它tooling，有人直譯為工具因子，膜林晶控儀上寫作比例因子(最初聽到工具因子時(shí)不知所云，雖慢慢耳熟，仍要改)。 c+ie8Q!  
理想情況下，有了正確的tooling值，晶控儀上設(shè)定的膜層厚度和蒸鍍上樣品的膜層厚度就統(tǒng)一為設(shè)計(jì)厚度了。 *-X[u
:  
53h0UL  
定義上，晶控Tooling Factor = 樣品(鍍膜產(chǎn)品)上實(shí)測(cè)膜層物理厚度/晶振片上膜層物理厚度 × 100% H5an%kU|j  
假定工藝不變情況下，第一次鍍膜時(shí)的Tooling值T1不夠準(zhǔn)確，樣品實(shí)測(cè)厚度與設(shè)計(jì)厚度有偏差，需要修正。 ;tf=gdX;  
修正值  T2 = T1 * 樣品實(shí)測(cè)厚度/設(shè)計(jì)厚度 HzJz+ x:  
6A ah9  
lB4WKn=?Kl  
先思考一下，把你問題中的參數(shù)看怎么對(duì)應(yīng)到上面式子里。

+1------

2樓講解的很詳細(xì)，謝謝大師，我這里有高純度SIO2便宜處理，由于今年訂單減少，大量高優(yōu)質(zhì)材料虧本出售。請(qǐng)給實(shí)體行業(yè)一點(diǎn)支撐。17873333033

自己用TFC擬合吧，先把sio2膜厚設(shè)定到350nm，然后慢慢減少，到和你實(shí)際的圖像重合。 7EJ+c${e.-  
如果一個(gè)峰重合一個(gè)峰不重合，那就一點(diǎn)點(diǎn)的修折射率，（sio2折射率很穩(wěn)定，一般不用修） GvAb`c=  
這是最直觀的笨辦法。 Vvo7C!$z  
一般如果水晶放在最中央的話，水晶片上的膜厚會(huì)大于基片上的膜厚（一個(gè)是位置，另外一個(gè)有修正板擋住部分膜料）。所以基片上的膜厚只會(huì)小于350nm，不會(huì)大于350nm。

很好！

謝謝分享!!

水晶片上的厚度，有的時(shí)候  會(huì)小于鏡片上的厚度。 按實(shí)際測(cè)量的走就行了。

謝謝分享

謝謝分享。。