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[求助]鍍膜材料校準(zhǔn)因子如何算？ [復(fù)制鏈接]

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離線gmss1111

實(shí)習(xí)生

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2020-04-27

關(guān)鍵詞：鍍膜膜系軟件校準(zhǔn)因子

小弟剛?cè)腴T鍍膜行業(yè)，請教下如何計(jì)算鍍膜材料的tooling，比如說校準(zhǔn)sio材料，在鍺基片上鍍膜，鍍了350nm，膜系軟件在1800nm和3400nm出現(xiàn)兩個(gè)峰，到底選哪個(gè)，怎么計(jì)算啊。

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離線morningtech

助理工程師

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2020-04-27

為修正產(chǎn)品與監(jiān)控片厚度差異而設(shè)定的一個(gè)參數(shù)，用光控時(shí)老師把它叫作比例系數(shù)，
晶控上寫作Tooling Factor，有人簡稱它tooling，有人直譯為工具因子，膜林晶控儀上寫作比例因子(最初聽到工具因子時(shí)不知所云，雖慢慢耳熟，仍要改)。
理想情況下，有了正確的tooling值，晶控儀上設(shè)定的膜層厚度和蒸鍍上樣品的膜層厚度就統(tǒng)一為設(shè)計(jì)厚度了。


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