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[分享]光刻機投影物鏡結(jié)構(gòu)型式比較 [復(fù)制鏈接]

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離線我是菜鳥

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2020-05-02

關(guān)鍵詞：光刻機投影物鏡

摘要：本文分析了光刻機中采用的幾種投影物鏡的結(jié)構(gòu)型式，比較了各自的優(yōu)缺點，指出目前光刻機中采用全折射投影物鏡作為主流結(jié)構(gòu)型式的原因。

關(guān)鍵詞：光刻機；投影物鏡；全折射型；折反射型

附件:

光刻機投影物鏡結(jié)構(gòu)型式比較.rar (290 K) 下載次數(shù):100 ，售價:2光幣[記錄]

共2條評分，光幣+6

sxwpdpd	光幣 +1	-	2020-08-03
cyqdesign	光幣 +5	-	2020-05-02

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離線liaow

技術(shù)員

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2020-05-03

光刻機近年來很火啊，學(xué)習哈。

離線bmw0501

高級工程師

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2020-05-06

感謝分享

離線420200590

技術(shù)員

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只看該作者 3樓發(fā)表于: 2020-05-17

學(xué)習學(xué)習

離線420200590

技術(shù)員

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只看該作者 4樓發(fā)表于: 2020-05-17

謝謝分享

離線江gengen

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下載了

離線夜華

助理工程師

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只看該作者 6樓發(fā)表于: 2020-05-19

感謝。。

離線龍濤

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只看該作者 7樓發(fā)表于: 2020-05-19

謝謝分享

離線gandongdi226

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