光行天下>光學(xué)設(shè)計(jì)及經(jīng)驗(yàn)>用于光刻機(jī)照明均勻化的微柱面鏡陣列設(shè)計(jì)

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離線(xiàn)991518

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2020-08-24

關(guān)鍵詞：光刻機(jī)幾何光學(xué)光學(xué)設(shè)計(jì)柱面鏡

摘要：均勻照明是投影光刻機(jī)中實(shí)現(xiàn)光刻線(xiàn)條高度均一性的重要條件。采用微透鏡陣列作為照明勻光器件，能夠在實(shí)現(xiàn)矩形照明光斑的同時(shí)獲得極高的遠(yuǎn)場(chǎng)分布均勻性。基于微透鏡陣列現(xiàn)有的加工工藝，設(shè)計(jì)出二維方向分開(kāi) 的柱面微透鏡陣列，并通過(guò)優(yōu)化設(shè)計(jì)，克服了微透鏡之間的接縫在遠(yuǎn)場(chǎng)光場(chǎng)處產(chǎn)生的中心亮線(xiàn)。仿真分析表明，所設(shè)計(jì)的微透鏡陣列的遠(yuǎn)場(chǎng)分布不均勻性達(dá)到0.85％。

關(guān)鍵詞：幾何光學(xué)；微柱面鏡陣列；光學(xué)設(shè)計(jì)；照明均勻性

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用于光刻機(jī)照明均勻化的微柱面鏡陣列設(shè)計(jì).rar (1733 K) 下載次數(shù):130 ，售價(jià):2光幣[記錄](méi)

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cyqdesign	光幣 +5	-	2020-08-24

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離線(xiàn)optifdtd

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2020-08-25

學(xué)習(xí)了解。。。。。。

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2020-08-27

好東西學(xué)習(xí)一下

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感謝感謝

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只看該作者 4樓發(fā)表于: 2020-08-29

感謝！

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離線(xiàn)wuyy1227

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只看該作者 5樓發(fā)表于: 2020-08-31

學(xué)習(xí)了！

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離線(xiàn)lzj421223

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只看該作者 6樓發(fā)表于: 2020-09-02

學(xué)習(xí)了！！！謝謝

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離線(xiàn)hale1987

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只看該作者 7樓發(fā)表于: 2020-09-08

感謝！

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離線(xiàn)寒夜

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只看該作者 8樓發(fā)表于: 2020-09-09

謝謝分享。

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離線(xiàn)居安思危

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只看該作者 9樓發(fā)表于: 2020-09-10

感謝，好東西，學(xué)習(xí)一下

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