光行天下>光學(xué)設(shè)計及經(jīng)驗>用于光刻機照明均勻化的微柱面鏡陣列設(shè)計

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離線991518

高級工程師

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2020-08-24

關(guān)鍵詞：光刻機幾何光學(xué)光學(xué)設(shè)計柱面鏡

摘要：均勻照明是投影光刻機中實現(xiàn)光刻線條高度均一性的重要條件。采用微透鏡陣列作為照明勻光器件，能夠在實現(xiàn)矩形照明光斑的同時獲得極高的遠場分布均勻性。基于微透鏡陣列現(xiàn)有的加工工藝，設(shè)計出二維方向分開的柱面微透鏡陣列，并通過優(yōu)化設(shè)計，克服了微透鏡之間的接縫在遠場光場處產(chǎn)生的中心亮線。仿真分析表明，所設(shè)計的微透鏡陣列的遠場分布不均勻性達到0.85％。

關(guān)鍵詞：幾何光學(xué)；微柱面鏡陣列；光學(xué)設(shè)計；照明均勻性

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用于光刻機照明均勻化的微柱面鏡陣列設(shè)計.rar (1733 K) 下載次數(shù):130 ，售價:2光幣[記錄]

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mang2004	光幣 +5	-	2020-08-25
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離線optifdtd

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2020-08-25

學(xué)習(xí)了解。。。。。。

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離線ruanpeiz

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2020-08-27

好東西學(xué)習(xí)一下

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感謝感謝

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只看該作者 4樓發(fā)表于: 2020-08-29

感謝！

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離線wuyy1227

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只看該作者 5樓發(fā)表于: 2020-08-31

學(xué)習(xí)了！

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離線lzj421223

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只看該作者 6樓發(fā)表于: 2020-09-02

學(xué)習(xí)了！！！謝謝

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離線hale1987

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只看該作者 7樓發(fā)表于: 2020-09-08

感謝！

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離線寒夜

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只看該作者 8樓發(fā)表于: 2020-09-09

謝謝分享。

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離線居安思危

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只看該作者 9樓發(fā)表于: 2020-09-10

感謝，好東西，學(xué)習(xí)一下

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