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干涉測量作為最重要的光學測量技術之一已在各領域得到廣泛應用。我們將介紹兩個示例,利用輪廓掃描干涉儀測量表面形貌和利用Fabry-Pérot標準具實現(xiàn)光譜測量。得益于非序列擴展功能,這兩個應用所采用的系統(tǒng)在VirtualLab中可以輕松地實現(xiàn)設置。不僅可以清晰地對其工作原理進行描述及可視化,利用非序列場追跡技術更能夠快速且精確地對這類系統(tǒng)進行分析。 2fL;-\!y( %iQD /iT5 輪廓掃描干涉測量儀 ZQV6xoN;r 利用低相干氙燈光源,邁克爾遜干涉儀可以精確掃描給定樣品的表面輪廓。 _z|65H
R[D{|K@" gi1^3R[ 利用標準具檢查鈉燈D光 8<QdMkI 在VirtualLab Fusion中使用非序列場追跡技術建模二氧化硅間隔標準具,并用將其于測量鈉D光。 Hquc
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