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臺積電大規(guī)模購買EUV光刻機以提高產(chǎn)能保持業(yè)界領(lǐng)先地位

發(fā)布：cyqdesign 2020-11-14 18:03 閱讀：3042

據(jù)TOMSHARDWARE報道，臺積電表示其部署的極紫外光(EUV)光刻工具已占全球安裝和運行總量的50%左右，這意味著其使用的EUV機器數(shù)量超過了業(yè)內(nèi)其他任何一家公司。為了保持領(lǐng)先，臺積電已經(jīng)下單訂購了至少13臺ASML的Twinscan NXE EUV光刻機，將會在2021年全年交付，不過具體的交付和安裝時間表尚不清楚。

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