脈沖寬度為皮秒級的紫外激光，擁有極窄的脈沖寬度，可在短時(shí)間內(nèi)破壞物質(zhì)的分子鍵，縮短了與物質(zhì)相互作用的時(shí)間，同時(shí)具有較強(qiáng)的時(shí)間分辨率。為了獲得皮秒級脈沖寬度的短波紫外激光，本文設(shè)計(jì)了一種皮秒光纖-固體混合放大213 nm激光器。采用重復(fù)頻率為5 MHz、脈沖寬度為52 ps、平均功率為2.5 W的1 064 nm光纖激光器作為種子源，經(jīng)過兩級端面泵浦的Nd：YVO4晶體組成的放大器對種子光進(jìn)行放大，得到了平均功率為10.5 W的1 064 nm基頻光輸出。再將混合放大后得到的基頻光及其四倍頻后獲得的266 nm激光在BBO晶體內(nèi)進(jìn)行和頻，最終輸出213 nm紫外激光。混合放大后獲得的基頻光經(jīng)過多級非線性轉(zhuǎn)換，最終輸出脈沖寬度為690 ps、平均功率為61 mW的213 nm紫外激光，非線性轉(zhuǎn)換效率達(dá)到0.58%。
