最近在接觸一家做IBS和IBE設(shè)備的日本廠家。他們想調(diào)查一下中國市場有沒有前途。 rSB"0W7  
我這幾天去了上海慕尼黑光電展，看了一些IBS和IBE的產(chǎn)品，基本上產(chǎn)品的領(lǐng)域很窄。 S)z jfJR  
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那家廠家做的IBS的基本情況是這樣的： -[v:1\Vv  
使用的是美國產(chǎn)的離子源（考夫曼博士自家的產(chǎn)品，基本和VEECO一樣），所以和VEECO一樣有美國輸出限制。 y%=\E  
實(shí)際大概做了十幾臺，基本上是在日本的一些研究院，臺灣的某個(gè)客戶買了幾臺做BPF。 Fm{Ri=X<:  
大概能做100mm直徑的工件一枚，工件厚度最大10mm。 tsU.c"^n  
鍍膜能做200多層，每層大概幾個(gè)納米。 qI<6% ^i  
因?yàn)槭请x子濺射鍍膜，鍍膜速度非常慢，200層左右大概要鍍5天左右。 ,Z#t-?  
（高于200層因?yàn)閼?yīng)力很大，哪怕10mm的板子也會(huì)破裂） Vy{=Y(cpF2  
U n2xZ[4  
產(chǎn)品一般運(yùn)用在5G通訊，激光，高反射鏡，重力波鏡，EUV鏡上面。 n w @cAv  
不知道論壇里面哪位是在這個(gè)范圍內(nèi)的，這種設(shè)備（鍍膜慢，工件小）是否在國內(nèi)有前途？

離子濺射和刻蝕終將走集成自動(dòng)化，畢竟高端質(zhì)量在這，作者是行業(yè)大佬，有機(jī)會(huì)虛心向您學(xué)習(xí)

您太客氣了。我只是進(jìn)入這個(gè)行業(yè)比較早，經(jīng)驗(yàn)比較多一點(diǎn)。 v@LK3S/!3  
就鍍膜這個(gè)行業(yè)來講，鍍膜是個(gè)系統(tǒng)工程，需要學(xué)習(xí)的知識實(shí)在是太多了。 %U)/>Z  
恰巧我在離子源這方面做的比較多一點(diǎn)，所以想擴(kuò)展出來做些事情。 :+/V  
. 3=WE@M  
蒸發(fā)鍍膜這個(gè)行業(yè)已經(jīng)慢慢的下沉了，所以想往半導(dǎo)體或者濺射，化學(xué)鍍膜方向走走看。 #SQT!4  

很多干擾因素會(huì)更多。有機(jī)會(huì)也會(huì)試試954414

ouyuu:您太客氣了。我只是進(jìn)入這個(gè)行業(yè)比較早，經(jīng)驗(yàn)比較多一點(diǎn)。 );_g2=:#  
就鍍膜這個(gè)行業(yè)來講，鍍膜是個(gè)系統(tǒng)工程，需要學(xué)習(xí)的知識實(shí)在是太多了。 =${]j  
恰巧我在離子源這方面做的比較多一點(diǎn)，所以想擴(kuò)展出來做些事情。
蒸發(fā)鍍膜這個(gè)行業(yè)已經(jīng)慢慢的下沉了，所以想往半導(dǎo)體或者濺射，化學(xué)鍍膜方向走走看 .. (2021-10-16 16:29)  /1F%w8Iqh  

l9lBhltOH  
你好啊,有機(jī)會(huì)交流一下 k<Z^93 S  
我以前公司有這種機(jī)臺 IBS的 'C8VD+p  
光譜能鍍的很漂亮,很多高規(guī)格產(chǎn)品都要用這種 U":hJ*F)  
]>E*s3h  
0^az<!!O#  

請問leybold 的IBS和VEECO的雙離子束濺射哪個(gè)性能更好一些呢？我是新人，所以對這不是很了解，查找了很多論文，發(fā)現(xiàn)沒有用leybold的，用的VEECO 的更多

leybold自己連射頻離子源都做不好，IBS應(yīng)該也做不好吧？ y=g9 wO  
（IBS就是射頻離子源的柵網(wǎng)倒裝，讓離子從發(fā)散變成聚焦）

ouyuu:leybold自己連射頻離子源都做不好，IBS應(yīng)該也做不好吧？ |T?wM/  
（IBS就是射頻離子源的柵網(wǎng)倒裝，讓離子從發(fā)散變成聚焦） (2024-11-21 23:12)  Ay)q %:qx  

u>c\J|K_V  
我也不清楚用的哪家的離子源，只能從官網(wǎng)看到是3柵格RF 220毫米， LO IBS 1400款