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摘要 pJ` M5pF W"m\|x 復(fù)雜光學(xué)光柵結(jié)構(gòu)被廣泛用于多種應(yīng)用,如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等。利用傅里葉模態(tài)法(FMM,或稱RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一種用于任意光柵結(jié)構(gòu)嚴(yán)格分析的簡(jiǎn)單方法。利用圖形用戶界面,用戶可以設(shè)置堆棧的幾何形狀,從而產(chǎn)生復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。本案例主要集中于具有二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置。 &C~R*
j>2Jw'l;? 1. 本案例主要說明: =!axQ[)A 如何在光柵工具箱中配置二維光柵結(jié)構(gòu),通過: [-Zp[ - 基于介質(zhì)的定義類型 ZZkxEq+D - 基于表面的定義類型 *%G$[= 計(jì)算前如何改變高級(jí)選型并檢查定義的結(jié)構(gòu)。 KGMX >t' 注意:在VirtualLab中,具有二維周期性的光柵結(jié)構(gòu)稱作3D光柵。因此,層狀光柵(一維光柵)被稱為2D光柵。 9Tgl/}q) xvZNshkpAX 2. 光柵工具箱初始化 \9U4V>p 初始化 63s<U/N - 開始→ 0p8Z l 光柵→ b-/zt
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