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摘要 PJ)l{c f^-ot@w 復(fù)雜光學(xué)光柵結(jié)構(gòu)被廣泛用于多種應(yīng)用,如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等。利用傅里葉模態(tài)法(FMM,或稱RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一種用于任意光柵結(jié)構(gòu)嚴(yán)格分析的簡單方法。利用圖形用戶界面,用戶可以設(shè)置堆棧的幾何形狀,從而產(chǎn)生復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。本案例主要集中于具有二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置。 y/E:6w
hVz] wKP 1. 本案例主要說明: H:|.e)$i 如何在光柵工具箱中配置二維光柵結(jié)構(gòu),通過: Fge["p?GF - 基于介質(zhì)的定義類型
:>iN#)S - 基于表面的定義類型 iZLy#5(St 計(jì)算前如何改變高級(jí)選型并檢查定義的結(jié)構(gòu)。 t`="2$NO 注意:在VirtualLab中,具有二維周期性的光柵結(jié)構(gòu)稱作3D光柵。因此,層狀光柵(一維光柵)被稱為2D光柵。 P!"{-m' A%2B3@1'q 2. 光柵工具箱初始化 ;mYZ@g%e 初始化 jEE!H/ - 開始→ ohbU~R3{U 光柵→ Q}G2f4 一般光柵光路圖(3D光柵) qyxd9Lk1 eR,/}g\
et/:vLl13 注意:對(duì)于特殊類型的光柵,如柱狀光柵,可以直接選擇特定的光路圖。 q9dplEe5 >|z:CX$] 3. 光柵結(jié)構(gòu)配置 kia[d984w 首先,必須先定義基底的厚度與材料 gV-*z}`U 在VirtualLab中,光柵結(jié)構(gòu)有一個(gè)所謂的堆棧進(jìn)行定義
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