(I#mo2 這是一個(gè)一維周期線光柵的簡(jiǎn)單例子。周期單元包含了光柵的2D橫截面。在這種情況下，線型的橫截面具有梯形形狀，它位于襯底上并被背景材料包圍。示例中的材質(zhì)選擇為鉻(線)、玻璃(襯底)和空氣(背景)。 J0imWluhQ H:P7G_!\ 光柵由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite計(jì)算近場(chǎng)分布。下圖顯示了從襯底一側(cè)以193 nm波長(zhǎng)垂直入射的結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場(chǎng)強(qiáng)度。 p1\mjM S偏振照明的近場(chǎng)強(qiáng)度
Sx8C<S5r< P偏振照明的近場(chǎng)強(qiáng)度 Z6-ZAS(>m
傅立葉變換后處理計(jì)算透射衍射級(jí)的振幅。 RL )~J4Y
kZ PL$ \/A 參數(shù)掃描 ~9"c64 q
+* j8[ sz Matlab®腳本data_analysis/run_can_illlightation.m提供對(duì)入射角度的掃描。 [$F*R@,&
a`[9<AM1# 它會(huì)生成以下曲線圖，顯示反射和透射衍射級(jí)的強(qiáng)度： ddN G : pSI8"GwQ 在腳本data_analysis/run_can_width.m中，線條的寬度在150 nm到250 nm之間變化，照明角度固定。 vvu $8n |?]doBm|
QQ：2987619807
