最近在搞射頻源，大致已經(jīng)有眉目了。 ;8!D8o(+  
具體參數(shù)如下：口徑175mm; Ur@3_F  
陽(yáng)極電壓500~1200V，電流500~1200mA(自動(dòng)匹配）; 2-]m#}zbP  
射頻陰極電流500~2000mA。（自動(dòng)匹配） ;Zw28!#Rt  
啟動(dòng)時(shí)間比較短，大概5分鐘就能達(dá)到平穩(wěn)。 *UTk. :G5  
冷卻時(shí)間需要比較長(zhǎng)，大概10~30分鐘。 *m7e>]-  
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柵網(wǎng)壽命大概2年左右，100小時(shí)保養(yǎng)一次，陰極50小時(shí)保養(yǎng)一次。

這個(gè)陰極保養(yǎng)時(shí)間有點(diǎn)短了

陰極保養(yǎng)時(shí)間主要看冷卻時(shí)間。 tlW}lN}  
一般要求陰極冷卻30分鐘后開門，但是國(guó)內(nèi)客戶一般等不了這么長(zhǎng)時(shí)間， V{8mx70  
10分鐘左右就開門了，這種情況下陰極的氧化就會(huì)比較快。 :%0Z
  
所以只能多做保養(yǎng)。 35ng_,t$  
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