最近在搞射頻源,大致已經(jīng)有眉目了。 dXBXV>rbB
具體參數(shù)如下:口徑175mm; f@)GiLC'"
陽極電壓500~1200V,電流500~1200mA(自動匹配); JX $vz*KF
射頻陰極電流500~2000mA。(自動匹配) 20NotCM
啟動時間比較短,大概5分鐘就能達(dá)到平穩(wěn)。 s|q]11r+H
冷卻時間需要比較長,大概10~30分鐘。 #mFY?Zp)
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柵網(wǎng)壽命大概2年左右,100小時保養(yǎng)一次,陰極50小時保養(yǎng)一次。