最近在搞射頻源，大致已經(jīng)有眉目了。 __LR!F]
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具體參數(shù)如下：口徑175mm; }$ C;ccWL  
陽極電壓500~1200V，電流500~1200mA(自動匹配）; y=.`:EB9b  
射頻陰極電流500~2000mA。（自動匹配） 40h  
啟動時間比較短，大概5分鐘就能達到平穩(wěn)。 [ *P~\' U  
冷卻時間需要比較長，大概10~30分鐘。 wGy`0c]v?  
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柵網(wǎng)壽命大概2年左右，100小時保養(yǎng)一次，陰極50小時保養(yǎng)一次。

很多干擾因素會更多。有機會也會試試5+912651

射頻對比，國產(chǎn)能達到也不錯了，希望越來越好

陰極保養(yǎng)時間主要看冷卻時間。 0q6xXNAX  
一般要求陰極冷卻30分鐘后開門，但是國內(nèi)客戶一般等不了這么長時間， n?(s
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10分鐘左右就開門了，這種情況下陰極的氧化就會比較快。 {e!3|&AX  
所以只能多做保養(yǎng)。 yOTC>?p%  
L$t.$[~L  
如果你能每罩等三十分鐘充分冷卻的話，其實中和器不保養(yǎng)也沒多大問題。 @6"+x  

這個陰極保養(yǎng)時間有點短了