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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2007-03-07

一、電控柜的操作

1. 開水泵、氣源

2. 開總電源

3. 開維持泵、真空計(jì)電源，真空計(jì)檔位置V1位置，等待其值小于10后，再進(jìn)入下一步操作。約需5分鐘。

4. 開機(jī)械泵、予抽，開渦輪分子泵電源、啟動，真空計(jì)開關(guān)換到V2位置，抽到小于2為止，約需20分鐘。


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