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JCMsuite的應(yīng)用領(lǐng)域 K)[D A*W
p ]erk 現(xiàn)代納米光學(xué)系統(tǒng)的復(fù)雜性使得大量的仿真非常必要。 JCMsuite提供的超嚴(yán)格的仿真可以讓設(shè)計者深刻理解相關(guān)現(xiàn)象，了解更多不同領(lǐng)域帶來的挑戰(zhàn)。 w=feXA3-S Js}1_K 計算光刻 {IA3`y~
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JCMsuite提供了完整的光學(xué)仿真鏈：對復(fù)雜照明的描述，通過光學(xué)成像系統(tǒng)和光掩模傳播的光場的計算，直至在光刻膠中形成圖像。 S5>?j n1 !rZ r:@ 計算計量學(xué) ]<Kkq !
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LZH~VkK@m} 周期大于照明波長一半的結(jié)構(gòu)的光學(xué)計量已成為標(biāo)準(zhǔn)計量技術(shù)。 但是，快速嚴(yán)格的仿真技術(shù)以及設(shè)計好的測量裝備允許在深亞波長范圍內(nèi)使用光學(xué)計量方法。 2U.'5uA"L ykat0iqo 波導(dǎo)和光纖 _-5|
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