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JCMsuite的應用領(lǐng)域 P#v*TD' JcJmds 現(xiàn)代納米光學系統(tǒng)的復雜性使得大量的仿真非常必要。 JCMsuite提供的超嚴格的仿真可以讓設計者深刻理解相關(guān)現(xiàn)象,了解更多不同領(lǐng)域帶來的挑戰(zhàn)。 > Oh?%%6 ozsxXBh-`' 計算光刻 3p?KU- xr0haN\p"
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JCMsuite提供了完整的光學仿真鏈:對復雜照明的描述,通過光學成像系統(tǒng)和光掩模傳播的光場的計算,直至在光刻膠中形成圖像。 9>/wUQs!] n(~\l#o@ 計算計量學 G
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g%[n4 ,n2i@?NHZ 周期大于照明波長一半的結(jié)構(gòu)的光學計量已成為標準計量技術(shù)。 但是,快速嚴格的仿真技術(shù)以及設計好的測量裝備允許在深亞波長范圍內(nèi)使用光學計量方法。 0;,IKXK6X SFH-^ly&D 波導和光纖 #G9 adK5
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