左圖：角分辨光散射測(cè)量?jī)xALBATROSS；右圖：532 nm濾光片在不同波長(zhǎng)下的ARS分布。
Fo k`- U 系統(tǒng)簡(jiǎn)介 5iItgVTW
G\f:H%[5[ ALBATROSS（3D-Arrangement for Laser Based Transmittance, Reflectance and Optical Scatter measurement ）是一個(gè)大型的測(cè)量樣本反射光，透射光，以及散射光分布的實(shí)驗(yàn)室測(cè)量系統(tǒng)。其特點(diǎn)是對(duì)角度的靈敏度高，并且該系統(tǒng)可以測(cè)量三維空間中的散射分布。被測(cè)樣本包含光學(xué)和非光學(xué)表面以及其他光學(xué)材料和光學(xué)元件。其光源系統(tǒng)為變頻OPO激光，也可測(cè)量光散射的光譜特性。 :VRQd}$Pi z*^vdi0 特征及技術(shù)參數(shù) v'y<}U
GV)DLHiyxX - 可測(cè)量參數(shù)：散射光（角分辨散射ARS，雙向反射分布BRDF， y7R{6W_U> - 雙向透射分布BTDF，散射損耗），θ-2θ測(cè)量，反射，透射。（3D） .#e?[xxk - 入射光與探測(cè)器可共面或異面。 b Oh[(O! - 入射角，散射角（方位角和極角）以及光源的偏振態(tài)均可調(diào)整。 U3>ES" N - 可對(duì)樣品進(jìn)行掃描。 .YS48 c - 動(dòng)態(tài)范圍： 13個(gè)數(shù)量級(jí)。 _32 o7}!x - 最低ARS級(jí)別：5×〖10〗^(-8) 〖 sr〗^(-1)。 L{6Vi&I84[ - 對(duì)粗糙度的最小分辨率：< 0.1 nm 。 bb`DyUy ^+ - 波長(zhǎng)范圍：225 nm 至 1750 nm (光譜帶寬<0.05 nm)。 9qJ:h-?M - 樣本規(guī)格：最大尺寸直徑700mm。 gAGcbepX - 方便操作的測(cè)量及分析軟件。 8g_GXtn(z - 可分析值： 粗糙度，PSD等。 y=y#*yn
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