建模目的：如何將矩形光柵界面和轉(zhuǎn)變點(diǎn)列界面(Transition Point List Inerface)進(jìn)行組合，以構(gòu)建復(fù)雜結(jié)構(gòu)光柵，并進(jìn)行近場(chǎng)分析和內(nèi)部場(chǎng)分析 FUKE.Uxd 工具箱：光柵工具箱 o/p'eY:) 關(guān)鍵詞：矩形光柵界面 轉(zhuǎn)變點(diǎn)列界面 近場(chǎng)分析 內(nèi)部場(chǎng)分析 W'<cAg? 組合光柵結(jié)構(gòu)參數(shù)： Ujss?::`G 圖1：光柵參數(shù)示意圖 !GBGC|avE
使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模 -I{J]L$S #
^<nN~@j 1) 操作如下圖(1)(2)：解決方案(Solutions)/光柵工具箱(Grating Toolbox)/二維光柵仿真(2D Grating Simulations)/自定義光柵光路流程圖(General Grating Light Path Diagram)，生成光柵光路圖, 如下圖(3) &Qq4xn+J (1)
* !x/ia9 (2)
My\ (3) f>C|qDmT
圖2：使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模步驟1)示意圖 o)IcAqN$H
2) 雙擊
，進(jìn)入光柵編輯窗口(Edit General Grating 2D)/結(jié)構(gòu)與功能子窗口(Structure/Function)，確定基板材料和厚度，并選擇堆棧界面。 0Z>oiB r4
0 ;o v^] 圖3：使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模步驟2)示意圖 k C2_&L
3) 進(jìn)入堆棧界面，即堆棧編輯窗口(Edit)，通過(guò)添加(Add)按鈕依次添加平面(Plane Interface)，矩形光柵界面(Rectarngular Grating Interface)以及轉(zhuǎn)變點(diǎn)列界面(Transition Point List Interface)以構(gòu)建矩形組合光柵。 N>_d { =P
^Sz?c_<2P (1)
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(2) &_y+hV {
(3)
圖4：使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模步驟3)示意圖 9C)w'\u9+
4) 點(diǎn)擊
，進(jìn)入矩形光柵編輯窗口(Edit Rectangular Grating Interface)，輸入光柵一的結(jié)構(gòu)參數(shù)，并將其位置橫向移動(dòng)(Lateral Shift)1 μm，如下圖所示 i*%2 e)
'BwM{c-O" 圖5：使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模步驟4)示意圖 9wC:8@`6E
5) 點(diǎn)擊
，進(jìn)入轉(zhuǎn)變點(diǎn)列界面(Transition Point List Interface)編輯窗口(Edit Transition Point List Interface)，輸入光柵二和光柵三兩種光柵結(jié)構(gòu)參數(shù)： 9 ulr6
A[m4do (1) 通過(guò)點(diǎn)擊添加數(shù)據(jù)(Add Datum)增加轉(zhuǎn)變點(diǎn)(transition points)，并給該點(diǎn)對(duì)應(yīng)的橫向位置(x-Position)和高度(Height)賦值，以形成所需轉(zhuǎn)變點(diǎn)序列。 &t w
+qEvz<kch (2) 按照?qǐng)D6(2)所示設(shè)置所有轉(zhuǎn)變點(diǎn)，然后將插值方法(Interpolation Method)設(shè)置為常量區(qū)間(Constant Interval)。將橫向區(qū)域上限(Upper Limit)設(shè)置為2 μm，并設(shè)置大小與形狀(Size and Shape) 為2 μm x 2μm 長(zhǎng)方形(Rectangular)。 y i/jZX
MF^I ] 7_ (3) 進(jìn)入周期化標(biāo)簽(Periodization)，選擇使用周期化設(shè)置(Use Periodization)，并將周期設(shè)置為2 μm x 2μm。可觀察到z-方向，即高度方向最小值(Boundary Minimum)為-800 nm。 ZW| VAn'> "Z6:
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