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發(fā)表于: 2021-10-09
摘要
6-,m}Ce\
u@FsLHn
干涉測(cè)量法是
光學(xué)
計(jì)量學(xué)的重要技術(shù)。 它被廣泛用于例如,表面輪廓、缺陷、高
精度
的機(jī)械和熱變形。 作為一個(gè)典型示例,在VirtualLab Fusion中借助非
序列
場(chǎng)追跡,構(gòu)建了具有相干
激光
光源
的Mach Zehnder干涉儀。 證明了
光學(xué)元件
的傾斜和移位如何影響干涉條紋圖案。
yZ}d+7T}
<M[U#Q~?~e
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建模任務(wù)
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oUW<4l
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元件傾斜引起的干涉條紋
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xQt 3[(Z
元件移動(dòng)引起的干涉條紋
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