美國Filmetrics公司F20系列薄膜測量設備：可精確快速測量各種光學及半導體薄膜的厚度、折射率及消光系數(shù)等。 <S6?L[_  
精度：0.4%或1埃 ]n<Ba7Y  
測量速度：秒級 9f5~hBlo  
光譜范圍：紫外到紅外 !8W0XUqh+  
厚度范圍：幾十埃到幾百微米 fb^R3wd$ff  
多種光接入方式（樣品測量平臺）。 589fr"Ma,6  
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