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    [技術(shù)]F-Theta物鏡激光掃描系統(tǒng)的性能分析 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-11-12
    激光掃描系統(tǒng)(LSC.0002 v1.0) \aM-m:J  
    sZr \mQ~  
    應(yīng)用案例概述
    |gu@b~8  
    &I8DK).M+  
    系統(tǒng)細(xì)節(jié) D86F5HT}}  
    6fI2y4yEz  
    光源 -.M J3  
    – 綠光二極管 LA lX |b  
    元件 Et(H6O 8  
    – 雙軸振鏡掃描儀 wL3RcXW``e  
    – F-Theta物鏡 CdmpKkq#  
    探測(cè)器 @sZ7Ka  
    – 場(chǎng)曲和畸變探測(cè)器 k \T]*A  
    光束強(qiáng)度剖面探測(cè)器 0)b1'xt',  
    – 焦點(diǎn)區(qū)域探測(cè)器 ]S@T|08b  
    – 光束參數(shù)探測(cè)器 ;}U]^LT=  
    模擬/設(shè)計(jì) tx9 %.)M:n  
    光線追跡:分析掃描場(chǎng)尺寸,場(chǎng)曲以及畸變 XXA'B{@Y)  
    – 場(chǎng)追跡:考慮衍射效應(yīng),進(jìn)行更精確的光束尺寸和剖面的研究 !> +Lre@  
    5EI"5&`*  
    系統(tǒng)說(shuō)明 p=> +3  
    fS|e{!iI"  
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