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    [技術(shù)]柱型抗反射結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析與優(yōu)化 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-11-25
    該應(yīng)用案例描述了具有亞波長結(jié)構(gòu)尺寸的柱型抗反射光柵的嚴(yán)格分析以及一個(gè)兩步優(yōu)化。此外，對圓柱直徑與高度的影響進(jìn)行了分析。 bTJ<8q  
     |OeWM  
    1. 建模任務(wù) e]VW\ 6J&  
     t+v %%N_  
    # scZP  
    2. 建模任務(wù):介質(zhì)參數(shù) lTC0kh  
    !h #ZbErW  
    BL&AZv/T  
    3. 結(jié)構(gòu)參數(shù) C:J frg`  
     ].Yz =:  
    優(yōu)化過程中保持不變的參數(shù)： yeiIP  
     ]hV!lG1_  
    1. 圓柱的水平間距：250nm 7<su8*?  
    2. 圓柱的垂直間距：125nm t`B@01;8A  
    3. 列距：125nm *v%y;^{k[/  
     ~61b^L}$  
    優(yōu)化過程中變化的參數(shù)： (RFH.iX  
     $ 64up!  
    1. 圓柱高度(圓柱直徑= ) b? o  
    2. 圓柱直徑(柱高來自1中優(yōu)化結(jié)果) j!agD_J  
    *47/BLys<  
     U~D~C~\2;  
    4. 3維柱型結(jié)構(gòu)的建模 l qfTF  
    R=~%kt_n  
    # >k|^*\  
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