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[技術(shù)]柱型抗反射結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析與優(yōu)化 [復(fù)制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2021-11-25

該應(yīng)用案例描述了具有亞波長(zhǎng)結(jié)構(gòu)尺寸的柱型抗反射光柵的嚴(yán)格分析以及一個(gè)兩步優(yōu)化。此外，對(duì)圓柱直徑與高度的影響進(jìn)行了分析。

1. 建模任務(wù)

2. 建模任務(wù):介質(zhì)參數(shù)

3. 結(jié)構(gòu)參數(shù)

優(yōu)化過程中保持不變的參數(shù)：

1. 圓柱的水平間距：250nm
2. 圓柱的垂直間距：125nm
3. 列距：125nm

優(yōu)化過程中變化的參數(shù)：