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[討論]關(guān)于國產(chǎn)光刻機的那段歷史 [復(fù)制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2021-11-30

關(guān)鍵詞：光刻機

1982年，中科院研制出的KHA-75-1光刻機，和當(dāng)時最先進(jìn)的佳能光刻機相比，差距也就在四年左右。可惜后續(xù)因為沒有投放到商用領(lǐng)域，以及科研經(jīng)費的不足，為了促活經(jīng)濟，國內(nèi)開始采購集成電路生產(chǎn)線設(shè)備，國產(chǎn)光刻機的研究，無奈進(jìn)入了停滯狀態(tài)。


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