[討論]關于國產光刻機的那段歷史 [復制鏈接]

只看樓主正序閱讀樓主發(fā)表于: 2021-11-30

關鍵詞：光刻機

1982年，中科院研制出的KHA-75-1光刻機，和當時最先進的佳能光刻機相比，差距也就在四年左右。可惜后續(xù)因為沒有投放到商用領域，以及科研經費的不足，為了促活經濟，國內開始采購集成電路生產線設備，國產光刻機的研究，無奈進入了停滯狀態(tài)。

關于KHA-75-1光刻機
科學院109廠、哈爾濱量具刃具廠、阿城繼電器廠共同研制的KHA75-1型接近、接觸式半自動光刻機。

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2021-11-30

那時候的條件就那樣吧，留下的就是遺憾！


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