任務(wù)/系統(tǒng)說明 D$YAi%*H  
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亮點(diǎn) pIC CjA?3@  
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 在復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)中，包含光柵（如，非常大的數(shù)值孔徑(NA)） Kbg`
ZO*  
 嚴(yán)格分析光柵衍射效率 (+>+@G~o  
 考慮入射光的方向分布 ~Rs|W;  
o!aKeM~|Es  
說明：光源 `[jQn;  
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y~SFlv36
  
-l`@pklQ  
說明：光束分束器 5#80`/w^U  
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x +q"%9.c  
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說明：檢測透鏡系統(tǒng) --Dw  
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p27A#Uu2}  
fB3O zff  
說明：微型晶片 h$f/NSct2  
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說明：檢測物鏡 _ZzN}!Mye  
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CbQ@l@d]  
kZU8s'C  
說明：探測器 Wey-nsk  
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V*=cNj  
結(jié)果：3D光線追跡（只有0級） "<v_fF<Y  
HAf.LdnzS  
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結(jié)果：3D光線追跡（所有級） SjtGU47$!  
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