各位大佬，磁控濺射鍍膜過(guò)程中的電子損傷能用什么辦法檢測(cè)出來(lái)嘛，電子損傷有什么辦法將其消除或者規(guī)避掉嘛？

是電子本身造成的損傷，還是二次電子造成的靜電損傷？ H C,5j)1  
有些問(wèn)題屬于小知識(shí)小竅門(mén)，網(wǎng)上問(wèn)的到結(jié)果。 6"Lyv  
有些問(wèn)題屬于別人花了很多錢(qián)開(kāi)發(fā)出來(lái)的獨(dú)有技術(shù)和工藝， 9C2pGfEbn}  
屬于保密范疇，網(wǎng)上是問(wèn)不到結(jié)果的。 .ahY 1CO
 

ouyuu:是電子本身造成的損傷，還是二次電子造成的靜電損傷？ \'u+iB g  
有些問(wèn)題屬于小知識(shí)小竅門(mén)，網(wǎng)上問(wèn)的到結(jié)果。 bv(+$YR  
有些問(wèn)題屬于別人花了很多錢(qián)開(kāi)發(fā)出來(lái)的獨(dú)有技術(shù)和工藝， yx&}bu\  
屬于保密范疇，網(wǎng)上是問(wèn)不到結(jié)果的。 ^`dMjeF  
 (2021-12-16 11:58)  4clCZ@\K^  

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好滴，謝謝。這個(gè)電子損傷主要是濺射沉積過(guò)程中產(chǎn)生的電子，包括二次電子，應(yīng)該不包括靜電。

這樣…… >wb*kyO7(#  
我這邊只做過(guò)新柯隆，他們家是先濺射再氧化的。 DwFvM0O6\  
氧化的時(shí)候多余的氧離子就可以把電子中和了，所以之前也沒(méi)有關(guān)注過(guò)這種問(wèn)題。 G@~
e:v)  
你們能不能鍍膜的時(shí)候加上一個(gè)氧化源？

ouyuu:這樣…… ^H<VH  
我這邊只做過(guò)新柯隆，他們家是先濺射再氧化的。 (lit^v,9  
氧化的時(shí)候多余的氧離子就可以把電子中和了，所以之前也沒(méi)有關(guān)注過(guò)這種問(wèn)題。 r`u