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[討論]磁控濺射鍍膜電子損傷 [復(fù)制鏈接]

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離線hxn123

實(shí)習(xí)生

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只看樓主正序閱讀樓主發(fā)表于: 2021-12-15

關(guān)鍵詞：磁控濺射鍍膜

各位大佬，磁控濺射鍍膜過程中的電子損傷能用什么辦法檢測出來嘛，電子損傷有什么辦法將其消除或者規(guī)避掉嘛？

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離線ouyuu

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只看該作者 5樓發(fā)表于: 2021-12-30

回 hxn123 的帖子

hxn123:好滴，謝謝，這個加入氧化源是不是相當(dāng)于反應(yīng)濺射 (2021-12-28 23:10) E}AOtY5a

是的。

離線hxn123

實(shí)習(xí)生

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只看該作者 4樓發(fā)表于: 2021-12-28

回 ouyuu 的帖子

ouyuu:這樣…… Ow7NOhw
我這邊只做過新柯隆，他們家是先濺射再氧化的。 ]jbQou@
氧化的時候多余的氧離子就可以把電子中和了，所以之前也沒有關(guān)注過這種問題。 tHNvb\MR$
你們能不能鍍膜的時候加上一個氧化源？ (2021-12-24 11:13) bwh7.lDAl

好滴，謝謝，這個加入氧化源是不是相當(dāng)于反應(yīng)濺射

離線ouyuu

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只看該作者 3樓發(fā)表于: 2021-12-24

這樣……
我這邊只做過新柯隆，他們家是先濺射再氧化的。
氧化的時候多余的氧離子就可以把電子中和了，所以之前也沒有關(guān)注過這種問題。
你們能不能鍍膜的時候加上一個氧化源？

離線hxn123

實(shí)習(xí)生

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2021-12-16

回 ouyuu 的帖子

ouyuu:是電子本身造成的損傷，還是二次電子造成的靜電損傷？ cT{iMgdI?
有些問題屬于小知識小竅門，網(wǎng)上問的到結(jié)果。 3nuf3)
有些問題屬于別人花了很多錢開發(fā)出來的獨(dú)有技術(shù)和工藝， H e]1<tx
屬于保密范疇，網(wǎng)上是問不到結(jié)果的。