光行天下>光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備>多層減反膜理論與實(shí)測(cè)差別較大

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[求助]多層減反膜理論與實(shí)測(cè)差別較大 [復(fù)制鏈接]

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離線songyanxia

實(shí)習(xí)生

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2022-02-09

關(guān)鍵詞：減反膜離子源

設(shè)備為德國(guó)萊寶加APS離子源，在k9基底上使用sio2和ta2o5設(shè)計(jì)了可見區(qū)+1540nm雙波段減反膜，理論上在可見區(qū)有三個(gè)波峰，且平均剩余反射率小于0.5％，最大峰值0.7％左右，而實(shí)際測(cè)量曲線與理論相差非常大，波峰為4個(gè)，波峰最大值超過(guò)2％。sio2和ta2o5折射率以及tooling都校準(zhǔn)過(guò)了。

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離線ouyuu

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2022-02-23

AR膜好像從來(lái)沒有和設(shè)計(jì)一樣的。
慢慢用模擬軟件模擬著修吧。

先確定氧是足夠的（沒有失氧），先修敏感層。

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離線xiezhizhi

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2022-02-28

同意一樓說(shuō)法可以用TFC的Interactive Analysis 模擬看看是那一層影響

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離線flyinlove79

論壇版主

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只看該作者 3樓發(fā)表于: 2022-04-17

材料參數(shù)偏差、膜厚控制誤差、折射率不均勻等都會(huì)導(dǎo)致實(shí)測(cè)曲線和理論曲線間的偏差。

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離線shenhan0701

實(shí)習(xí)生

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只看該作者 4樓發(fā)表于: 2022-06-06

同樣的材料，厚度不同，tooling是不一樣的，一般來(lái)說(shuō)100nm以下，越薄的層tooling越小，模擬看看吧

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離線f4213705

技術(shù)員

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只看該作者 5樓發(fā)表于: 2022-06-10

同意一樓說(shuō)法

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離線奔跑的小駿馬

助理工程師

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只看該作者 6樓發(fā)表于: 2022-06-21

模擬確認(rèn)哪一層或者哪個(gè)材料出現(xiàn)偏差了

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