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多層減反膜理論與實(shí)測(cè)差別較大
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發(fā)表于: 2022-02-09
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減反膜
離子源
設(shè)備
為德國(guó)萊寶加APS離子源,在k9基底上使用sio2和ta2o5設(shè)計(jì)了可見區(qū)+1540nm雙波段
減反膜
,理論上在可見區(qū)有三個(gè)波峰,且平均剩余反射率小于0.5%,最大峰值0.7%左右,而實(shí)際測(cè)量
曲線
與理論相差非常大,波峰為4個(gè),波峰最大值超過2%。sio2和ta2o5折射率以及tooling都校準(zhǔn)過了。
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ouyuu
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1樓
發(fā)表于: 2022-02-23
AR膜好像從來(lái)沒有和設(shè)計(jì)一樣的。
MX%|hIOpr
慢慢用模擬軟件模擬著修吧。
w?*'vF_2:#
"`H=AX0
先確定氧是足夠的(沒有失氧),先修敏感層。
4"`=hu
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