超透鏡是基于超表面的成像器件，能夠精確調(diào)控光的相位、偏振、振幅，具有輕薄、易集成、平面化的優(yōu)點(diǎn)。針對(duì)近紅外成像器件的小型化、集成化發(fā)展趨勢(shì)，基于非晶硅材料設(shè)計(jì)制備了近紅外偏振不敏感超透鏡。針對(duì)超透鏡的基元結(jié)構(gòu)選擇問(wèn)題，對(duì)比了采用8階、6階基元設(shè)計(jì)的超透鏡聚焦效率；為提高加工容差和降低加工難度，采用了最大深寬比為6的8階基元設(shè)計(jì)超透鏡；針對(duì)超透鏡仿真與加工之間跨度大的問(wèn)題，利用化學(xué)氣相沉積的方法生長(zhǎng)了600 nm厚度的多晶硅，利用電子束刻蝕等工藝制備了超透鏡樣品。測(cè)試結(jié)果表明：超透鏡形貌結(jié)構(gòu)良好，聚集效率為65%。
