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共聚焦掃描顯微技術(shù)在1950年代由ML Minsky發(fā)明并獲得專(zhuān)利，后來(lái)以激光作為光源，現(xiàn)已得到了廣泛的應(yīng)用。通過(guò)使用空間針孔來(lái)阻擋離焦平面散射或反射的光， 促進(jìn)提高縱向分辨率和對(duì)比度。 在此示例中，我們?cè)赩irtualLab Fusion中構(gòu)建了一個(gè)共焦掃描顯微鏡，并使用具有變化的脊和槽的金屬光柵作為測(cè)試對(duì)象來(lái)演示其工作原理。 1$Up7=Dr=
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2. 建模任務(wù) s'O%@/;J
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共聚焦掃描顯微鏡是如何工作的，并且探測(cè)功率隨目標(biāo)橫向位移產(chǎn)生的變化？ V .K jcy
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 k_g@4x1y* o sc8;B/ 3. 聚焦區(qū)域的探測(cè)場(chǎng) I!zoo[/)%
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 74_ ?@Z( -=-^rQx9 4. 來(lái)自測(cè)試對(duì)象的直接反射 $$AZ)#t[
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