[求助]APC充氧的作用 [復制鏈接]

只看該作者 10樓發(fā)表于: 2023-06-26

回 18844167969 的帖子

18844167969:解決吸收，保證材料充分氧化 (2022-08-29 16:14) wGti|7Tu*

解決吸收，是為了提高穿透嗎？

只看該作者 11樓發(fā)表于: 2024-07-05

回 ouyuu 的帖子

ouyuu:理論上是這樣。但是實際上也要考慮機臺生產(chǎn)的穩(wěn)定性。在清機初期抽速較好的情況下，人為的降低一點真空度。有射頻離子源的情況下，一般離子源才是供氧的主力。（APC流量一般小于離子源供氧） (2022-07-02 19:40) / <(|4e

學習了...

離線renlgj

只看該作者 12樓發(fā)表于: 2024-07-21

主要是氧化，防止脫氧折射率變化


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