請教各位大佬，鍍膜中的APC充氧有什么作用？

補充氧氣，穩(wěn)定真空度。 P}y +G|  
不同真空度下，膜的分布和致密度都是不一樣的。 jrlVvzZ  

但是不是真空度越高對膜層堆疊越好嗎？

APC充氧主要作用是保證鍍膜材料氧化充分，不然吸收會比較大

xzaxd:但是不是真空度越高對膜層堆疊越好嗎？ (2022-06-20 11:34)  YiXk5B0Uh  

(R[[Z,>w.  
理論上是這樣。但是實際上也要考慮機臺生產(chǎn)的穩(wěn)定性。在清機初期抽速較好的情況下，人為的降低一點真空度。有射頻離子源的情況下，一般離子源才是供氧的主力。（APC流量一般小于離子源供氧）

ouyuu:理論上是這樣。但是實際上也要考慮機臺生產(chǎn)的穩(wěn)定性。在清機初期抽速較好的情況下，人為的降低一點真空度。有射頻離子源的情況下，一般離子源才是供氧的主力。（APC流量一般小于離子源供氧） (2022-07-02 19:40)  Mg+2. 8%  

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明白了！謝謝版主

奔跑的小駿馬:APC充氧主要作用是保證鍍膜材料氧化充分，不然吸收會比較大 (2022-06-21 18:22)  5"VTK  

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好的！

解決吸收，保證材料充分氧化

補充氧氣，穩(wěn)定真空度

APC功能上就是壓力控制儀， 一般和離子源或者M(jìn)FC（流量質(zhì)量控制器）配合使用，用來穩(wěn)定鍍膜真空度維持氧氣分壓的 of~4Q{f$6  
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