18844167969:解決吸收，保證材料充分氧化 (2022-08-29 16:14)  _=@9XvNM  

ouyuu:理論上是這樣。但是實(shí)際上也要考慮機(jī)臺(tái)生產(chǎn)的穩(wěn)定性。在清機(jī)初期抽速較好的情況下，人為的降低一點(diǎn)真空度。有射頻離子源的情況下，一般離子源才是供氧的主力。（APC流量一般小于離子源供氧） (2022-07-02 19:40)  zM?JLNs]<{