請(qǐng)教各位大佬，鍍膜中的APC充氧有什么作用？

主要是氧化，防止脫氧折射率變化

ouyuu:理論上是這樣。但是實(shí)際上也要考慮機(jī)臺(tái)生產(chǎn)的穩(wěn)定性。在清機(jī)初期抽速較好的情況下，人為的降低一點(diǎn)真空度。有射頻離子源的情況下，一般離子源才是供氧的主力。（APC流量一般小于離子源供氧） (2022-07-02 19:40)  0aMw  

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學(xué)習(xí)了... dz',!|>  

18844167969:解決吸收，保證材料充分氧化 (2022-08-29 16:14)  UW+|1Bj_:  

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解決吸收，是為了提高穿透嗎？

APC功能上就是壓力控制儀， 一般和離子源或者M(jìn)FC（流量質(zhì)量控制器）配合使用，用來(lái)穩(wěn)定鍍膜真空度維持氧氣分壓的 N(v<*jn  
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補(bǔ)充氧氣，穩(wěn)定真空度

解決吸收，保證材料充分氧化

奔跑的小駿馬:APC充氧主要作用是保證鍍膜材料氧化充分，不然吸收會(huì)比較大 (2022-06-21 18:22)  7Xm7{`jH  

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好的！

ouyuu:理論上是這樣。但是實(shí)際上也要考慮機(jī)臺(tái)生產(chǎn)的穩(wěn)定性。在清機(jī)初期抽速較好的情況下，人為的降低一點(diǎn)真空度。有射頻離子源的情況下，一般離子源才是供氧的主力。（APC流量一般小于離子源供氧） (2022-07-02 19:40)  cGiS[-g  

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明白了！謝謝版主

xzaxd:但是不是真空度越高對(duì)膜層堆疊越好嗎？ (2022-06-20 11:34)  Kd^{~Wlz&z  

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理論上是這樣。但是實(shí)際上也要考慮機(jī)臺(tái)生產(chǎn)的穩(wěn)定性。在清機(jī)初期抽速較好的情況下，人為的降低一點(diǎn)真空度。有射頻離子源的情況下，一般離子源才是供氧的主力。（APC流量一般小于離子源供氧）