1、奇數(shù)型達(dá)曼
光柵設(shè)計(jì)
>z03{=sAN 以1*5分束比達(dá)曼光柵設(shè)計(jì)為例，分別以標(biāo)量
衍射理論和矢量衍射理論來(lái)
優(yōu)化設(shè)計(jì)，并且利用rsoft和virtuallab軟件來(lái)驗(yàn)證。
O^.#d 5R-6ji 1）標(biāo)量衍射理論設(shè)計(jì)
RN1_ S 運(yùn)用matlab編寫(xiě)的多種群遺傳算法進(jìn)行優(yōu)化，得到衍射效率為78%，非均勻度為0.3%，
結(jié)構(gòu)圖和衍射圖如下所示。
Hz~zu{;{J :h$$J
lP 
eRYK3W （a）達(dá)曼光柵結(jié)構(gòu)（坐標(biāo)已歸一化）
)4OxY[2J 1x)J[fyId 
+z( L r=G （b）達(dá)曼光柵衍射效率
NUZl`fu1Z4 9p/Bh$vJ 2）矢量衍射理論RCWA算法設(shè)計(jì)
. vV|hSc 運(yùn)用matlab編寫(xiě)的多種群遺傳算法進(jìn)行優(yōu)化，得到衍射效率為78%，非均勻度為0.9%，結(jié)構(gòu)圖和衍射圖如下所示。
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BLttb （a）達(dá)曼光柵結(jié)構(gòu)（坐標(biāo)已歸一化）
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DrR@n~ （b）達(dá)曼光柵衍射效率
,2q-D&)\Z L#J1b!D&<6 3）rsoft仿真
tYS06P^< 標(biāo)量衍射結(jié)果與rsoft仿真結(jié)果有一定的差異。（分束比越高差異越大）
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e2 Wc#24:OKe3 
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