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    [討論]關(guān)于高速超精密激光干涉儀 [復(fù)制鏈接]

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    離線gangzi0801
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-02-17
    關(guān)鍵詞： 激光干涉儀
    哈工大成功研制出了高速超精密激光干涉儀，目前可用于350nm到28nm工藝的光刻機樣機集成研制和性能測試，意味著我們離光刻機又近了一步。 m;D- 林周县| 泽州县| 石渠县| 柘城县| 临漳县| 阜宁县| 沂水县| 哈巴河县| 宾川县| 连南| 贡嘎县| 丘北县| 集安市| 淮北市| 孙吴县| 屏边| 苏州市| 洪洞县| 揭西县| 囊谦县| 武功县| 田东县| 呼玛县| 耿马| 龙州县| 讷河市| 泗水县| 呼图壁县| 于都县| 厦门市| 宝山区| 漳浦县| 绿春县| 淄博市| 翼城县| 黑龙江省| 竹溪县| 昭通市| 昌都县| 洛宁县| 台北市|