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gangzi0801
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發(fā)表于: 2023-02-17
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激光
干涉儀
哈工大成功研制出了高速超精密
激光
干涉
儀
，目前可用于350nm到28nm工藝的光刻機樣機集成研制和性能測試，意味著我們離光刻機又近了一步。
W1=H8 O
P(z+ +A&
大家一起來交流一下，關(guān)于高速超精密激光
干涉儀
的知識和技術(shù)吧。
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