首先聲明一下，在這里表達的只是個人看法，并不一定有道理。
?vn 0%e868 關(guān)于
鍍膜，大家都追求的是鍍膜的連續(xù)性和穩(wěn)定性。
gkML .u 甚至為了穩(wěn)定性，一些鍍膜機廠家寧可犧牲性能。
6'Yn|A 比如說鍍膜過程中使用APC充氧：
<hZ}34?]i2 很多人認為APC充氧只是為了給類似于TiO2這些易失氧膜料進行補氧。
$;uWj| 其實不然。使用離子源的情況下，氧其實是足夠的。
S~Iw?SK3 APC充氧還有一個重要的目的，維持鍍膜環(huán)境的穩(wěn)定性。
S" TMsi APC是自動壓力控制的英文縮寫，它能起到穩(wěn)定真空腔體真空度的作用。
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ELJj DJYXC,r 在真空中，有個平均自由程的概念，一個粒子平均運動多遠才能和其他粒子碰撞。
(1AA;)`Kp 真空度越高，平均自由程越長，
電子槍和離子源發(fā)出來原子或者離子就會更多的到達基板表面。
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