首先聲明一下，在這里表達的只是個人看法，并不一定有道理。 a7+BAma<  
關于鍍膜，大家都追求的是鍍膜的連續(xù)性和穩(wěn)定性。 Ei#"r\q j_  
甚至為了穩(wěn)定性，一些鍍膜機廠家寧可犧牲性能。 |h#mv~cF  
比如說鍍膜過程中使用APC充氧： h\1_$ac  
很多人認為APC充氧只是為了給類似于TiO2這些易失氧膜料進行補氧。 @g{=f55  
其實不然。使用離子源的情況下，氧其實是足夠的。 RGiA>Z:W  
APC充氧還有一個重要的目的，維持鍍膜環(huán)境的穩(wěn)定性。 gAE}3//  
APC是自動壓力控制的英文縮寫，它能起到穩(wěn)定真空腔體真空度的作用。 htaB!Q?V  
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在真空中，有個平均自由程的概念，一個粒子平均運動多遠才能和其他粒子碰撞。 ?znSA >  
真空度越高，平均自由程越長，電子槍和離子源發(fā)出來原子或者離子就會更多的到達基板表面。 03MB,  
但是隨著腔體的逐漸變臟，鍍膜時候的真空度會變差，到達基板的原子和離子就會變少。 $r 榆林市| 祁门县| 开封县| 永丰县| 静海县| 洱源县| 瑞丽市| 桑日县| 芮城县| 咸阳市| 武安市| 宝丰县| 和田县| 海兴县| 长顺县| 婺源县| 调兵山市| 河源市| 南昌市| 思南县| 淮南市| 肇州县| 平远县| 林甸县| 信丰县| 咸丰县| 济宁市| 应城市| 和顺县| 色达县| 炉霍县| 西华县| 云南省| 吉木萨尔县| 铜陵市| 金川县| 开封市| 扎囊县| 赞皇县| 新昌县| 台东市|