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俄羅斯科研人員使用激光脈沖代替光刻

發(fā)布:cyqdesign 2023-08-03 23:17 閱讀:1376
俄羅斯國立研究型大學莫斯科電子技術學院科研人員,使用激光脈沖代替光刻開發(fā)出了一種為信息顯示設備創(chuàng)建元件的新技術。這將加速降低下一代顯示器和各種光學系統(tǒng)超表面的生產(chǎn)成本。研究結果發(fā)表在新一期《應用表面科學》上。 Z)#UCoK!c  
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超表面是帶有周期性圖案的結構,可用于控制電磁波和光波。在此基礎上,可使用介電材料、金屬材料以及相變材料。而相變材料能改變相態(tài),從而改變?nèi)Q于外部輻射的特性。 "^n,(l*4x  
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在由相變材料GST(鍺—銻—碲系統(tǒng)的化合物)制成的超表面的基礎上,研究人員開發(fā)了能借助光波顯示信息的新型緊湊型設備。其中包括超薄顯示器、增強現(xiàn)實和虛擬現(xiàn)實耳機以及全息投影儀。然而,對薄膜表面進行納米結構化以將其轉(zhuǎn)變?yōu)槎喙δ鼙砻娴倪^程,迄今仍使用勞動密集型且成本高昂的光刻技術進行。首先要在模板(掩模)上創(chuàng)建必要的超表面圖像,然后以選定的分辨率將其轉(zhuǎn)移到物體上。 +1!iwmch>  
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為了降低薄膜結構形成的成本并加快這一過程,莫斯科電子技術學院聯(lián)合其他科研機構使用激光脈沖代替光刻。研究人員稱,借助超短脈沖的激光輻照,可更快、更容易地在GST上創(chuàng)建有序的納米結構。要形成有序的表面,利用預先實現(xiàn)的過程,即在激光的作用下破壞之前的材料。解決方案的主要優(yōu)勢是脈沖觸發(fā)表面上結構的自我組織。根據(jù)脈沖的強度和數(shù)量,可能形成3種不同類型的結構,其中最令人好奇的是周期性排列的相同尺寸的納米球。這些形狀很難形成,其半徑可達150納米。 67II9\/  
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以前,如果不使用額外的技術,就無法在這些材料中獲得它們,但現(xiàn)在,除了激光裝置和薄膜本身之外,獲得同一樣式的納米球不需要任何設備。這些球體是由于熔化的細絲衰變而產(chǎn)生的。在此情況下,激光照射能量的增加會引起傳質(zhì)過程,從而導致納米球鏈轉(zhuǎn)變?yōu)橹芷谛愿〉瘛I鲜黾夹g使得創(chuàng)建高度有序的納米透鏡和光學納米光柵成為可能,并有望進一步與各種光學系統(tǒng)一體化,包括信息顯示系統(tǒng)。
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最新評論

personking 2023-08-04 01:33
俄羅斯科研人員使用激光脈沖代替光刻
tassy 2023-08-04 08:17
激光脈沖可代替光刻
likaihit 2023-08-04 08:19
真的很不錯啊
redplum 2023-08-04 08:20
太牛逼啊
雨后無文 2023-08-04 08:28
俄羅斯科研人員使用激光脈沖代替光刻
11yy 2023-08-04 08:53
借助超短脈沖的激光輻照,可更快、更容易地在GST上創(chuàng)建有序的納米結構
太平洋警察 2023-08-04 09:06
擼起袖子加油使勁干
jabil 2023-08-04 09:12
Really good one
churuiwei 2023-08-04 09:25
俄羅斯國立研究型大學莫斯科電子技術學院科研人員
星空38 2023-08-04 09:30
這將加速降低下一代顯示器和各種光學系統(tǒng)超表面的生產(chǎn)成本
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