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關(guān)于光束整形常見的幾種方法
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光束整形
光束整形
(Beam Shaping)是一種利用光束控制技術(shù)來改變光束的形狀和特性的過程。隨著
激光
技術(shù)的不斷發(fā)展,激光的應(yīng)用也越來越廣泛,但是在
半導(dǎo)體
光刻、激光印刷、激光加工、
光學(xué)
信息處理等領(lǐng)域中,都對激光光束的均勻性有著一定的要求。然而
激光器
諧振腔輸出的光束呈高斯分布,這一特性使其往往不能被直接使用,需要通過光束整形來提高均勻性,以滿足應(yīng)用的需求。目前激光光束整形方法主要包括光闌法、場映射法和多孔徑光束聚焦法。
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一、光闌法
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