光束整形(Beam Shaping)是一種利用光束控制技術(shù)來改變光束的形狀和特性的過程。隨著
激光技術(shù)的不斷發(fā)展,激光的應(yīng)用也越來越廣泛,但是在
半導(dǎo)體光刻、激光印刷、激光加工、
光學(xué)信息處理等領(lǐng)域中,都對(duì)激光光束的均勻性有著一定的要求。然而
激光器諧振腔輸出的光束呈高斯分布,這一特性使其往往不能被直接使用,需要通過光束整形來提高均勻性,以滿足應(yīng)用的需求。目前激光光束整形方法主要包括光闌法、場(chǎng)映射法和多孔徑光束聚焦法。
-y|J_;EG <~5O-.G] 一、光闌法
WGn=3(4 AwNr}9` 光闌法(Aperture Method)是一種常見的光束整形方法,使用的是光闌來調(diào)整光束的形狀和大小。在光學(xué)設(shè)備中,光闌是一個(gè)用于限制和調(diào)整光束的物理孔徑或開口。通過控制光闌的形狀和大小,可以調(diào)整光束的橫截面形狀和大小,從而達(dá)到特定的光學(xué)性能。例如,將光闌設(shè)置為圓形,可以得到一個(gè)圓形光束;將光闌設(shè)置為矩形,則可以得到一個(gè)矩形光束。
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